PS-8N 气体侦测器 PS-8M PS-8S 日本 新宇宙 cosmos
PS-8N 气体侦测器 PS-8M PS-8S 日本 新宇宙 cosmos
特徵
半導體工廠氣體檢測裝置
採用「COSMOS技術*」更換校正後感測器
搭配獨創熱線型半導體式氫化物感測器,延長使用壽命(即將上市)
搭載大型液晶顯示器,一眼掌握現場狀況
支援PoE減少牽線,無縫連接PLC簡化數據傳輸
前開式設計便於更換感測器
安裝子機/擴充模組,根據偵測氣體和數量相連多個感測器
*COSMOS技術
1997年,捨棄在裝設現場進行氣體校正,透過回收感測器的方式,降低公司營運成本。
用途
檢測半導體工廠中材料氣體的洩漏
◆攜帶式(新宇宙型)半導體材料氣體檢測器為 XPS-7II
◆攜帶式半導體材料氣體偵漏器 XP-703DIII
*1 限用乙太網路或擴充模組Modbus-RTU。規格
產品型號 主機:PS-8N、PS-8M
子機:PS-8S感測器原理 定電位電解式、熱線型半導體式、隔膜伽伐尼電池式 氣體採樣方法 幫浦吸引式(約0.5L/min±20% 自動控制吸入流量) 偵測氣體 依照購買規格 偵測範圍 依照購買規格 氣體濃度顯示 單色液晶全點陣顯示
氣體濃度:5位數標示(付單位)
其他:氣體名稱、流量、一二段警報顯示、故障顯示
*使用PS-8S時資訊將顯示於主機上警報設定值 依照購買規格 警報精度 ・可燃性氣體:相同條件下警報設定值的±25%
・毒性氣體:相同條件下警報設定值的±30%
・缺氧:相同條件下±1vol%警報延遲 ・可燃性氣體:警報設定值1.6倍的氣體→延遲30 秒以內
・毒性氣體:警報設定值1.6 倍的氣體→延遲60秒以內
・缺氧:濃度於10vol%達到 18 vol%時→延遲5秒以內(20±2 ℃)
(以上時長未含配管長度及通訊時間)警報顯示 ・第1段:警報1LED紅燈閃爍、畫面顯示:ALARM1
・第2段:警報2LED紅燈閃爍、畫面顯示:ALARM2外部輸出 【數位訊號*1】
・PS-8M:Ethernet 10BASE-T/100base-Tx(Modbus/TCP)
Modbus/TCP(設備可連接台數依系統配置)
最大傳輸距離100m(可達HUB)
・PS-8N、PS-8S:無
*PS-8N 可使用MR擴充模組 RS485(Modbus-RTU)
【氣體濃度類比訊號*2】
・PS-8N、PS-8M:DC4-20mA(與電源負極共點)(輸出精度:FS±0.5%以內)
* 發生故障警報時輸出訊號將降至0.6mA 以下
*負載電阻含配線電阻為 300Ω 以下
【氣體警報接點(1 段和 2 段)、故障警報接點*3】
1a無電壓接點/自動復歸
*額定負載AC125V 0.5A或DC30V 1.0A(阻抗負載)
*獨立接點輸出需使用擴充模組防爆性能 非防爆 適用溫濕度範圍 0°C 至 40°C(溫度無激烈變化)、30 至 85%RH(無冷凝) 使用電源 ・PS-8N:DC24V±10%
・PS-8M:DC24V±10% 或 PoE(乙太網路供電、IEEE 802.3at)
・PS-8S:由主機提供耗電量※4 CDS-7:3.5W(最大5.2W)
CDS-7(催化轉化型):4.0W(最大5.9W)
COS-7:3.5W(最大5.2W)
CHS-7:4.0W(最大5.9W)外形尺寸 ・PS-8N、PS-8M:W70mm x H124mm x D172mm(不含突出部分),約850g(不含感測器)
・PS-8S:W70mm x H124mm x D172mm(不含突出部分),約770g(不含感測器)
*2 主機的類比輸出為主機專用,裝載於子機的感測器,需使用AO擴充模組輸出類比訊號。AO擴充模組能夠輸出搭載於主機的感測器類比訊號,支援多芯連接。
*3 使用子機安裝兩個以上感測器,並以獨立接點輸出時,請使用DO擴充模組。此時,將由擴充模組完成主機感測器的獨立輸出(主機接點將同時輸出)。
*4 同時使用類比輸出和數位輸出,將增加耗電量。