日本 JIMA 日本检查机器工业会 RT RC-05B X射线微焦点分辨率测试卡
2026-02-05 16:51:38
admin
日本 JIMA 日本检查机器工业会 RT RC-05B X射线微焦点分辨率测试卡
核心技术规格
外形尺寸：40×30×3 mm（铝基座）；硅芯片：8×8×0.2 mm
吸收体：金（Au）线，厚度≥1.0 μm；表面聚酯保护膜 0.05 mm 厚
线 / 间距（L/S）与图案：共 16 组；3–10 μm 为T 型（3、4、5、6、7、8、9、10 μm）；15–50 μm 为I 型（15、20、25、30、35、40、45、50 μm）；每组 3 线 2 间距
精度公差：3、4 μm 为 ±15%；5 μm 及以上为 ±10%
工作温度：10°C～70°C；带专用防护塑料盒包装