日本 JIMA 日本检查机器工业会 RT RC-04B 纳米焦点X射线超高分辨率测试卡
2026-02-05 16:52:51
admin
日本 JIMA 日本检查机器工业会 RT RC-04B 纳米焦点X射线超高分辨率测试卡
核心技术规格
外形尺寸：40×30×5 mm（铝基座）；硅芯片：5×5×0.015 mm（Si，15 μm 厚 ±1 μm）
吸收体：钨（W），高度≥650 nm；SiN 200 nm 层；PET 保护膜 25 μm（含粘结层，严禁撕下）
线 / 间距（L/S）与图案：23 种规格，全为T 型布局；0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4、0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、1.0、1.5、2.0、3.0、4.0、5.0、6.0、7.0、8.0、9.0、10.0 μm；每组 8 线 7 间距，含垂直 / 水平方向
精度公差：
0.1、0.15 μm：±0.02 μm
0.2～2.0 μm：±10%
3.0～10.0 μm：±8%